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所属类别:DDR直驱回转运动平台
产品名称:mPT-GR-UP系列 | UP型精密气浮直驱转台
产品标签:mPT-GR-UP系列 | UP型精密气浮直驱转台
更新时间:2020/8/8 21:54:16
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mPT-GR-UP系列超精密型气浮直驱转台产品,采用超精密和高刚度的气浮轴系作为支承,获得小于100nm的运动误差。并采用30Bit的绝对式编码器作为位置反馈,位置分辨率0.005arc-sec,并具有卓越的定位精度和速度稳定性。有300和360两种规格产品可供选择。
参数名称 | 单位 | GR-UP300F-160 | GR-UP360F-180 |
运动行程 | Deg. | 360连续 | 360连续 |
分辨率 | arc-sec | 0.005 | 0.005 |
定位精度 | arc-sec | 0.25 | 0.25 |
重复定位精度 | arc-sec | 0.5 | 0.5 |
倾斜运动误差 | arc-sec | 1 | 1 |
轴向运动误差 | μm | 0.1 | 0.1 |
径向运动误差 | μm | 0.075 | 0.075 |
最大速度 | rpm | 6 | 6 |
轴向承载 | kg | 40 | 40 |
径向承载 | kg | 20 | 30 |
连续力矩 | N·m | 4.0 | 4.0 |
峰值力矩 | N·m | 8.0 | 8.0 |
重量 | kg | 37 | 58 |
材质 | -- | 铝合金 | 铝合金 |
mPT | SR | S | 60F | 76 | MI | J3 |
---|---|---|---|---|---|---|
产品大类 | 产品小类 | 精度等级 | 外形特征尺寸 | 转台高度 | 母线电压/电机类型 | 编码器类型/等级 |
微米级定位产品 | SR:机械直驱转台 | S:标准型
ST:高刚度标准型
|
60:60mm
150:150mm
F:有安装法兰
L:无安装法兰
|
50:50mm
60:60mm
150:150mm
|
M
H:540VDC
M:310VDC
L:24-100VDC
I
I:内转子型
E:外转子型
|
J
J:绝对式
I:增量式
3
1-18Bit,×4
2-20Bit,×40
3-24Bit,×100
4-26Bit,×200
5-30Bit,×400
6-32Bit,×1000
|
转台大类 | 机械转台 | 气浮转台 | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
转台类型 | SR-S | SR-ST | SR-P | SR-UP | GR-P | GR-UP |
驱动器 | 标准伺服驱动器 | 精密伺服驱动器 | 超精密伺服驱动器 | |||
型号 | mPT-MD-S系列 | mPT-MD-P系列/UP系列 | mPT-MD-UP系列 |