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所属类别:DDL定制直驱直线运动平台
产品名称:mPT-GL-H系列 | H型两维气浮精密运动平台
产品标签:mPT-GL-H系列 | H型两维气浮精密运动平台
更新时间:2020/8/9 17:35:10
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Units | H300 | H500 | H750 | H1000 | |
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运动行程/Travel | mm | 300×300 | 500×500 | 750×750 | 1000×1000 |
分辨率/Resolution | nm | 10 | 10 | 10 | 10 |
重复定位精度/Repeatabil | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 |
定位精度/Accuracy | μm | ±0.5 | ±0.75 | ±0.85 | ±1.0 |
平面度/Flatness of Travel | μm | ±0.5 | ±1.5 | ±2 | ±2.5 |
直线度/Straightness of Travel | μm | ±0.5 | ±1.5 | ±2 | ±2.5 |
正交性/Orthogonality | arc-sec | 1 | 1 | 1 | 1 |
俯仰,滚动,偏航误差/Pitch, Roll and Yaw | arc-sec | ±2 | ±3.5 | ±4.5 | ±5.5 |
最大加速度/Max. Acceleration | 9.8m/s2 | 1 | 1 | 1 | 1 |
最大速度/Max. Speed | mm/s | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 |
平均速度波动/Average Speed Ripple | % | 10 | 10 | 10 | 10 |
位置稳定性/Position Stability | counts | 2 | 2 | 2 | 2 |
最大负载/Max. Load Capacity | kg | 30 | 30 | 120 | 120 |
产品大类 | 支承类型 | 驱动构型 | 行程大小 | 反馈信号类型 | 限位类型 |
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mPT | GL | H | 300 | LA | NC |
500 | LD | NO | |||
解释 | |||||
微米级定位产品 | 气浮导向 | H型 | 300×300mm | 直线光栅,模拟量输出 | 常闭触点 |
500×500mm | 直线光栅,数字量输出 | ??サ?/th> |