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◼ 运动行程100-500mm
◼ 定位精度1μm
◼ 重复定位精度0.5μm
◼ 负载35kg
◼ 100，200，300，400和500五种规格
mPT-GL-ZD系列产品是采用微泓自主研发的无铁芯直线电机驱动的气浮垂直运动平台。其运动行程100- 500mm，定位精度±0.4μm，重复定位精度±0.1μm，负载35kg，分辨率10nm。mPT-GL-ZD定位平台在垂直和水平表面布置空气-空气预载。气浮?？榈拇笃っ嫔杓票Ｖて〉脊斓母斩?，提高了定位平台的承载能力。气膜分布的均化效应，减小定位平台的俯仰，滚动和偏航误差，以及直线度和平面度误差。采用低摩擦气缸平衡重力，使定位平台上下运动平稳与顺畅。完全非接触式静压空气轴承，非接触式直线电机驱动和非接触式反馈测量装置确保微泓GL系列精密定位平台在免维护操作情况下仍能保持高性能。运动部件之间没有机械接触，保证定位的高性能下的高稳定性。也适合在洁净环境下工作。