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所属类别:DDL定制直驱直线运动平台
产品名称:mPT-SL-ZW系列 | 机械导向直驱楔形垂直运动平台
产品标签:mPT-SL-ZW系列 | 机械导向直驱楔形垂直运动平台
更新时间:2020/8/9 17:30:42
上一个产品: mPT-GL-S系列 | 气浮导向直驱直线运动平台
Units | ZW5 | ZW10 | ZW15 | |
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运动行程/Travel | mm | 5 | 10 | 15 |
分辨率/Resolution | nm | 1 | 1 | 1 |
重复定位精度/Repeatabil | μm | ±0.02 | ±0.02 | ±0.02 |
定位精度/Accuracy | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
平面度/Flatness of Travel | μm | ±0.5 | ±1.0 | ±1.0 |
直线度/Straightness of Travel | μm | ±0.5 | ±1.0 | ±1.0 |
俯仰,滚动,偏航误差/Pitch, Roll and Yaw | arc-sec | ±5 | ±7.5 | ±7.5 |
最大加速度/Max. Acceleration | 9.8m/s2 | 0.7 | 0.7 | 0.7 |
最大速度/Max. Speed | mm/s | 75 | 75 | 75 |
平均速度波动/Average Speed Ripple | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
位置稳定性/Position Stability | counts | ±1 | ±1 | ±1 |
最大负载/Max. Load Capacity | kg | 20 | 20 | 20 |
产品大类 | 支承类型 | 驱动构型 | 行程大小 | 反馈信号类型 | 限位类型 |
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mPT | SL | ZW | 5 | LA | NC |
10 | LD | NO | |||
解释 | |||||
微米级定位产品 | 机械轴承 | 垂直楔形直驱结构 | 5mm | 直线光栅,模拟量输出 | 常闭触点 |
10mm | 直线光栅,数字量输出 | ??サ?/th> |