所属类别：DDL定制直驱直线运动平台
产品名称：mPT-GL-S系列 | 气浮导向直驱直线运动平台
产品标签：mPT-GL-S系列 | 气浮导向直驱直线运动平台
更新时间：2020/8/9 17:28:36
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mPT-GL-S系列产品是采用微泓自主研发的无铁芯直线电机驱动的气浮直线运动平台。其运动行程100-500mm，定位精度±0.4μm，重复定位精度±0.2μm，负载50kg，分辨率5nm。mPT-GL-S系列定位平台在垂直和水平面上布置空气-空气预载?？?。气浮?？榈钠っ嫔杓票Ｖて〉脊斓母斩?，提高了定位平台的承载能力。气膜分布的均化效应，减小定位平台的俯仰，滚动和偏航误差，以及直线度和平面度误差。完全非接触式静压空气轴承，非接触式直线电机驱动和非接触式反馈测量装置确保微泓GL系列精密定位平台在免维护操作情况下仍能保持高性能和高稳定性。mPT-GL-S也适合在洁净环境下工作。
| Units | S100 | S200 | S300 | S400 | S500 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 运动行程/Travel | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 |
| 分辨率/Resolution | nm | 5 | 5 | 5 | 10 | 10 |
| 重复定位精度/Repeatabil | μm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 |
| 定位精度/Accuracy | μm | ±0.4 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
| 平面度/Flatness of Travel | μm | ±0.25 | ±0.4 | ±0.75 | ±1.5 | ±2 |
| 直线度/Straightness of Travel | μm | ±0.25 | ±0.4 | ±0.75 | ±1.5 | ±2 |
| 俯仰，滚动，偏航误差/Pitch, Roll and Yaw | arc-sec | ±1 | ±2 | ±3 | ±4 | ±5 |
| 最大加速度/Max. Acceleration | 9.8m/s2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 最大速度/Max. Speed | mm/s | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 位置稳定性/Position Stability | counts | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 最大负载/Max. Load Capacity | kg | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 产品大类 | 支承类型 | 驱动构型 | 行程大小 | 反馈信号类型 | 限位类型 |
|---|---|---|---|---|---|
| mPT | GL | S | 200 | LA | NC |
| 300 | LD | NO | |||
| 解释 | |||||
| 微米级定位产品 | 气浮导向 | 单电机驱动 | 200mm | 直线光栅，模拟量输出 | 常闭触点 |
| 300mm | 直线光栅，数字量输出 | ?？サ?/th> | |||
