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        UPM系统解决方案
        微泓?致力于应用在精密与超精密加工(Precision, ultra-precision machine) ,精密测量(Precision measurement)与精密操作(Precision manipulationg)的多维精密运动系统的研发与制造。微泓目前的UPM系统解决方案专注:1)半导体和泛半导体制造装备领域,提供洁净环境使用的多维精密运动平台和传输机械手。2)2-3维精密转台,为光电传感器、导弹导引头、卫星传感器、惯性导航制导单元提供多轴角度测试、校准、目标跟踪与指向…

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